Nanostrukturyzacja

Autor: Michał Prokop, Wydział Inżynierii Metali i Informatyki Przemysłowej AGH

Licencja CC BY-SA 3.0 PL

Data ostatniej modyfikacji: 14 września 2020

Opis

Opiekun naukowy: mgr Krzysztof Grochot, Wydział Fizyki i Informatyki Stosowanej AGH

Film prezentuję nanostrukturyzację dwuetapową próbki krzemowej, na której napylono za pomocą sputteringu magnetronowego warstwę wolframu i kobaltu. W pierwszym etapie zastosowano technikę litografii elektronowej, w drugim litografię optyczną do otrzymania cienkowarstwowych układów magnetycznych.

Omówiono proces nanostrukturyzacji – proces, w którym na przygotowanym podłożu otrzymujemy określony układ elementów w skali nanometrycznej. Układy tego typu znajdują szerokie zastosowanie w elektronice. Strukturyzacja z wykorzystaniem litografii optycznej jest najpopularniejszym procesem otrzymywania układów scalonych. Procesy przeprowadzane są w pomieszczeniach zwanych clean roomami. Zarezentowaną strukturyzację próbki wykonano w Laboratorium Ablacji Laserowej i Nanolitografii Akademickiego Centrum Materiałów i Nanotechnologii AGH. W procesie uzyskano układy do pomiaru właściwości magnetycznych.

Strona brała udział w konkursie „Notatki w Internecie”. Więcej informacji nt. konkursu dostępnych jest na stronie http://notatki.cel.agh.edu.pl

Pobierz

Otwarte Zasoby Edukacyjne w portalu Open AGH są dostępne na licencji Creative Commons Uznanie autorstwa-Użycie niekomercyjne-Na tych samych warunkach 3.0 Polska

Opinie

Na razie brak oceny zasobu.

Oceń jako pierwszy

Twój adres email nie zostanie opublikowany. Pola, których wypełnienie jest wymagane, są oznaczone symbolem *

X