Opiekun naukowy: mgr Krzysztof Grochot, Wydział Fizyki i Informatyki Stosowanej AGH Film prezentuję nanostrukturyzację dwuetapową próbki krzemowej, na której napylono za pomocą sputteringu magnetronowego warstwę wolframu i kobaltu. W pierwszym etapie zastosowano technikę litografii elektronowej, w drugim litografię optyczną do otrzymania cienkowarstwowych układów magnetycznych. Omówiono proces nanostrukturyzacji – proces, w którym na przygotowanym podłożu otrzymujemy określony […]
Nanostrukturyzacja
